アプリケーション HST601M のすべての操作は、オペレーターの疲労を最小限に抑えるために人間工学に従って設計されています。モジュール式コンポーネント設計により、システム機能を自由に組み合わせることができます。
基準:
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HST601M のすべての操作は人間工学に基づいて設計されており、オペレーターの疲労を最小限に抑えます。モジュール式コンポーネント設計により、システム機能を自由に組み合わせることができます。明視野、暗視野、斜方照明、偏光、DIC微分干渉など多彩な観察機能を網羅しており、用途に応じて機能を選択できます。
広い視野のヒンジ付き三眼観察管
ポジティブヒンジ三眼観察管を使用すると、結像された方向は物体の実際の方向と同じであり、物体の移動方向は画像面の移動方向と同じであるため、観察と操作が簡単になります。
大きなストロークのモバイルプラットフォーム設計
4インチのプラットフォーム設計を採用し、対応サイズのウエハやFPDの検査に使用できるほか、小型サンプルのアレイ検査にも使用できます。
高精度ノーズピース
コンバーターは精密ベアリング設計を採用しており、回転感は軽くて快適で、再現性の高い位置決め精度を備えています。変換後の対物レンズの同心度も良好に管理されています。
安全で安定したラック構造設計
工業用検査グレードの顕微鏡本体、低重心、高剛性、高安定性の金属フレームにより、耐震性と画像の安定性を確保しています。
フロントローハンド位置の粗微調整同軸フォーカシング機構には、さまざまな地域の電力網の電圧に適応できる100〜240V幅の変圧器が内蔵されています。ベースは空気循環冷却システムを使用して設計されており、長期間使用してもラックが過熱するのを防ぎます。
テクノロジーパラメータ:
標準構成 | モデル | |
アイテム | 仕様 | HST601M |
光学系 | 無限遠色収差補正光学系 | 付属 |
観察管 | 30°チルト、倒立像、無限ヒンジ三方向観察管、瞳孔間距離調整: 50-76mm、3 速度分割比 0:100。 20:80; 100:0 | 付属 |
接眼レンズ | 高アイポイント・大視野プランアイピースPL10X/22mm | 付属 |
目的レンズ | 無限遠長距離明暗視野対物レンズ:LMPL5X/0.15BD DIC WD9.0 | 付属 |
無限遠長距離明暗視野対物レンズ:LMPL10X/0.30BD DIC WD9.0 | 付属 | |
無限遠長距離明暗視野対物レンズ:LMPL20X/0.45BD DIC WD3.4 | 付属 | |
無限遠長距離明暗セミアポクロマート対物レンズ:LMPLFL50X/0.55 BD WD7.5 | 付属 | |
コンバーター | DIC スロットを備えた内部配置の 5 穴明視野コンバータ | 付属 |
フォーカシングラック | 透明な反射フレーム、前方の低い針位置の粗動およびマイクロ同軸フォーカス機構。粗調整ストロークは33mm、微調整精度は0.001mmです。滑りを防止する調整可能な弾性装置とランダム上限装置が付いています。 100-240Vのワイド電圧システム、12V100Wハロゲンランプ、透過光照明システムを内蔵しており、上下のライトは独立して制御可能です。 | 付属 |
ステージ | 4 インチ二層メカニカルモバイルプラットフォーム、プラットフォームエリア 230X215mm、ストローク 105x105mm、ガラスプラットフォーム付き、右側 X および Y 移動ハンドル、プラットフォームインターフェイス装備 | 付属 |
照明システム | 明暗視野反射照明器、可変開口絞り、視野絞り、中心調整可能。明暗視野照明切り替え装置付き。カラーフィルタースロットと偏光デバイススロット付き | 付属 |
偏光アクセサリ | 偏光子インサート プレート、固定アナライザー インサート プレート、360°回転アナライザー インサート プレート。 | 付属 |
オプションの構成 | ||
アイテム | 仕様 | |
金属組織解析ソフトウェア | M金属組織分析システム、12メガピクセルのソニーチップカメラデバイスUSB3.0、0.5Xアダプターミラーインターフェイス、高精度マイクロメーター。 | ○ |
観察管 | 30°チルト、正立像、無限ヒンジ三方観察管、瞳孔間距離調整:50~76mm、分割比100:0または0:100 | ○ |
5-35°傾斜角調整可能、正立像、無限ヒンジ三方観察管、瞳孔間距離調整: 50-76mm、片側視度調整: ±5 ジオプター、2 速度分割比 100:0 または 0:100 (22/23/16mm の視野をサポート) | ○ | |
接眼レンズ | ハイアイポイント、広視野プラン接眼レンズPL10X/23mm、視度調整可能 | ○ |
ハイアイポイント、広視野プラン接眼レンズPL15X/16mm、視度調整可能 | ○ | |
目的レンズ | 無限遠長距離明暗セミアポクロマート対物レンズ:LMPLFL100X/0.80 BD WD2.1 | ○ |
ディファレンシャル干渉 | DIC微分干渉部品 | ○ |
カメラデバイス | 20 メガピクセル Sony チップ カメラ デバイス USB3.0、1X アダプター インターフェイス | ○ |
コンピュータ | HP ビジネス ジェット | ○ |